-
自主研发
自行设计、拥有自主知识产权的高端太阳电池生产设备
-
高转换效率
新产线电池平均效率已超过26%，并且仍具有很大的提升空间
-
通用平台
混合HBC电池技术及30%+效率叠层技术的通用平台
-
整线装备输出
可快速输出标准化的产线规划、整线设备及产线集成
单线GW级太阳电池生产装备
公司自主研发PECVD、PVD等核心设备，拥有完善的知识产权体系
公司拥有自主知识产权的PECVD、PVD等核心生产设备技术，主要设备PECVD、PVD、印刷机等兼容182mm、210mm尺寸硅片，适应未来行业的发展要求
公司的异质结电池产线经历了100MW级别量产、500MW级别量产的验证及升级，推出了单线1GW产能异质结电池量产线
2025年，公司率先推出了适用于HBC（Hybrid BC）电池生成的HBC-PECVD设备
公司单线GW级太阳电池生成装备已服务多家行业龙头企业
单线1000MW产能异质结电池产线
采用金石能源7代技术，其中核心的PECVD设备在日本精密制造
解决了当前市面上诸多异质结产线方案存在的“为了达成产能而腔室过多、设备Uptime难以保证”的问题
开发出I-IN-P构造，腔室之间气体没有交叉污染，尤其是P层的载板能够独立使用不交叉，对稳定性有很大帮助
设备采用了13.56MHz射频（RF）等离子体辉光放电技术，更适合微晶电池量产
率先推出HBC电池产线
公司HBC（Hybrid BC）电池产线工艺流程中，前半段高温制程，后半段低温制程，将TOPCon与HJT完美结合
工艺简洁，非常适合规模化量产！
结构简单，腔体少，所使用的腔体数量相当于HJT-PECVD腔体数量的三分之一，降低了客户成本
设备总长度大幅缩短，占地空间也随之大大降低
PECVD系统——大腔室 大产能
专为太阳能应用设计的模块化in-line系统
具有自主知识产权的13×26载板尺寸和系统设计
设备采用大腔室设计，获得极高的单腔室有效镀膜面积，更容易实现大产能
扩展性好，可兼容182mm、210mm等尺寸硅片
各功能模块间高效的硅片全自动上下料
分体式镂空载板设计，加热能耗低，可根据工艺或硅片尺寸调整，且每片硅片CCD定位，更适用于薄片化
设备成熟稳定，故障率低，设备利用率高
PVD系统——智能化 低成本
设备成熟稳定，故障率低；设备利用率高
上下旋转靶设计，实现双面同时镀膜
隔离腔、缓存腔和工艺腔都充分配置了冷阱，可充分吸附抓取腔室内的水汽分子，冷阱温度可调，可以很好地控制工艺腔内水汽分压
高真空腔和缓冲腔及工艺腔布置有加热器，可灵活调整沉积温度。且在开腔复机过程，加速腔内固体表面气体分子的脱附速率，加快抽空速率及复机时间
工艺腔配置RGA监控系统，可实时监控工艺腔室水汽分压
I-IN-P的镀膜设计
模块化设计，连续在线镀膜 ，连续化生产，便于智能制造升级
I+IN+P构造，各段设备载板独立使用，不会交叉污染，工艺稳定性高
各腔室之间设有阀门隔离，气体耗用低，且不会串扰，工艺灵活性高
产线短、工艺简洁，更适合大产能产线的量产
采用13.56MHz的RF电源技术
目前市场上的腔室尺寸都在2米以上，大于VHF的1/4波长，而在HBC工艺要求中，PECVD主要是用来镀非晶层，13.56MHz的RF电源更适用于大腔室PECVD镀膜
升级RF馈入机构，馈入点从四个升级到五个，完美匹配大功率电源，改善电场分布，镀膜均匀性更好
按工艺要求可独立分配射频功率，实现电源功率的多种组合输出方式，使得腔内电场更一致
单线GW级太阳电池生产装备与服务
具有稳定、成熟的单线GW级太阳电池产线量产经验
整体化解决方案坚持从客户的需求出发，提供最适合客户需求的设备或整线
具备快捷交付能力，可快速输出标准化的产线规划、整线设备及产线集成
技术人员储备充足，能有力保障客户快速安装、调试、量产
